不过内存业者仍然面临另外一个重要的难题,他们要将制程水品提升到50nm以上级别则一般需要购买昂贵的沉浸式光刻设备。而除了内存业者以外,其它半导体厂商如台积电/联电灯公司也需要采购这类新设备。目前在沉浸式光刻机市场上占据老大地位的是ASML公司,这家公司的产品占到了同类产品市场的90%份额。在这种情况之下,沉浸式光刻机的供货期将大大延长,而这则会使内存业者试图提升制程的计划放缓。
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本文来源:不详 作者:佚名